真空泵的分類包括以下幾種類型:
變?nèi)菡婵毡茫豪帽们蝗莘e的周期變化來完成吸氣和排氣,包括往復(fù)式、旋轉(zhuǎn)式(旋片式、滑閥式、液環(huán)式、羅茨式、螺旋式、爪形轉(zhuǎn)子式)。
動量傳輸泵(分子真空泵):依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流,將動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇?/span>
壓縮泵:通過一個或多個壓縮級將空氣粒子從被抽容器中抽出,然后排放到大氣中。
冷凝和吸氣泵:用于讓被抽的氣體粒子凝結(jié)到固體表面或以其他方式束縛到固體表面上。